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              一种oled显示面板生产用新型精细金属掩膜版的制作方法

              发布日期:2018-04-11 浏览次数:1400

                一种oled显示面板生产用新型精细金属掩膜版的制作方法

                【专利摘要】本实用新型公开了一种OLED显示面板生产用新型精细金属掩膜版,其中装置包括在金属基板上设置多个通孔形成的边框,在边框的上表面电铸有一层精细掩膜从而使精细掩膜与边框结合为一体,所述精细掩膜划分有精细结构部分形成的图形区域和边框区域,所述图形区域与边框上的通孔相对应。本实用新型的精细掩膜和边框是结合紧密的、一体化结构,增加精密金属掩膜版的强度,省去了将精细金属掩膜版焊接到边框上的过程,简化制作过程,降低制作成本。

                【专利说明】一种OLED显示面板生产用新型精细金属掩膜版

                【【技术领域】】

                [0001]本实用新型涉及半导体制造【技术领域】,更具体地说,涉及一种OLED显示面板生产用新型精细金属掩膜版。

                【【背景技术】】

                [0002]当前高像素密度的OLED (有机发光二极管,又称为有机电激光显示,具有自发光的特性)显示面板的生产需要采用厚度很薄、热膨胀系数小的精细金属掩膜版(Fine MetalMask, FMM)来作为掩膜版(或称荫罩板),用来蒸镀OLED面板像元内的有机发光体(三基色)。

                [0003]OLED用精细金属掩膜版通常使用因瓦合金(INVAR,又称殷钢)通过化学刻蚀的方法来制备,首先在因瓦合金表面涂覆光刻胶或感光干膜,通过曝光的方式将掩膜板的精细图案转移在感光膜上,再通过显影和化学刻蚀的方式最后制成精细金属掩膜版。

                [0004]通常精细金属掩膜版的厚度只有30-200um,既薄又脆,将精细金属掩膜版贴在蒸镀有机发光体像元的基板(玻璃片或柔性的基材)表面,并保持很高的位置精度是非常困难的。需要将精细金属掩膜版采用 激光焊接在金属框架上才能使用。在焊接过程中,由于要对金属掩膜版施加的张力不均匀或热效应等因素,很容易产生移位或损坏这张很薄的金属掩膜版。

                [0005]另外,由于OLED的制备过程,每隔一段时间就必须通过清洁来阻止精细金属掩膜版中的图案因残留物质引起的缺陷,非常容易导致精细金属掩膜版中某些图像单元的损坏,因此精细金属掩膜版大约每两个月就必须进行更换。由于以上各因素使得OLED显示面板生产过程中,用于精细金属掩膜版的成本相当昂贵。